在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,溫度控制的精度與穩(wěn)定性直接影響芯片性能與良率。從光刻膠的均勻涂布到CMP研磨液的精密拋光,再到封裝材料的可靠固化,工藝過程中每一度的偏差都可能影響最終產(chǎn)品品質(zhì)。然而,傳統(tǒng)溫控設(shè)備能耗高、精度低、穩(wěn)定性差,已成為制約半導(dǎo)體材料高效生產(chǎn)的“卡脖子”難題。普泰克(上海)制冷設(shè)備技術(shù)有限公司,聚焦半導(dǎo)體行業(yè)需求,以全流程溫控解決方案與創(chuàng)新技術(shù)優(yōu)勢,助力企業(yè)實現(xiàn)更高效、更穩(wěn)定的生產(chǎn)目標(biāo)。
行業(yè)挑戰(zhàn)/溫度控制
1、控溫精度不足:
傳統(tǒng)設(shè)備在低溫(如-15℃)工況下易出現(xiàn)溫度回升現(xiàn)象,可能導(dǎo)致光刻膠形變或研磨液性能波動,影響工藝一致性。
2、效率低下:
傳統(tǒng)控溫設(shè)備能耗較高,且控溫精度不足,可能導(dǎo)致原料浪費與生產(chǎn)成本增加。
解決方案/普泰克技術(shù)突破
普泰克以供熱主機(jī)單元、管路系統(tǒng)、二級介質(zhì)溫控系統(tǒng)、膨脹系統(tǒng)、智能控制系統(tǒng)為核心,構(gòu)建覆蓋半導(dǎo)體全流程的溫度管理網(wǎng)絡(luò),為行業(yè)提供可靠的技術(shù)支持。
普泰克溫控系統(tǒng)技術(shù)優(yōu)勢
1、變頻技術(shù)與節(jié)能:
采用變頻技術(shù),通過系統(tǒng)結(jié)構(gòu)設(shè)計和自主控制算法,精準(zhǔn)調(diào)節(jié)壓縮機(jī)輸出頻率,滿足制程需求的同時實現(xiàn)低能耗。
2、全密閉式系統(tǒng):
全密閉設(shè)計,無油霧、無異味,導(dǎo)熱液體使用壽命長。
3、快速加熱與制冷:
參與循環(huán)的導(dǎo)熱液體少,加熱和制冷速度快。獨立的制冷與加熱單元,精確控制溫度變化,熱慣性小,響應(yīng)速度快。
4、模塊化設(shè)計:
結(jié)構(gòu)緊湊,占地面積小,安裝方便,移動便捷。
5、智能監(jiān)控與診斷:
流量、泵壓、溫度等參數(shù)可以同時監(jiān)控設(shè)定和控制,運行狀態(tài)實時顯示,故障自動診斷,具備多項報警保護(hù)功能。
6、控制重復(fù)性與穩(wěn)定性:
基于高級動態(tài)控制系統(tǒng),確保每次控制結(jié)果一致,提升生產(chǎn)穩(wěn)定性。
7、自適應(yīng)PID控制:
自適應(yīng)PID算法,適應(yīng)不同環(huán)境和負(fù)載,無需調(diào)整參數(shù),實現(xiàn)優(yōu)良的溫度控制。
核心產(chǎn)品/半導(dǎo)體溫控Chiller
PTS系列高精度冷熱循環(huán)器
?應(yīng)用場景:光刻膠低溫存儲、CMP研磨液恒溫供應(yīng)
?技術(shù)亮點:寬溫域控制能力,支持高精度溫度調(diào)節(jié)
PHE系列高精度換熱溫控單元
?應(yīng)用場景:封裝材料固化、蝕刻液溫度管理
?技術(shù)亮點:快速響應(yīng)溫度變化,適配復(fù)雜工藝需求
為什么選擇普泰克?
?深耕半導(dǎo)體領(lǐng)域:服務(wù)半導(dǎo)體前、中、后道全流程工藝,覆蓋八大核心制程設(shè)備。
?定制化服務(wù)能力:依托模塊化平臺,提供標(biāo)準(zhǔn)化與個性化結(jié)合的解決方案。
溫度控制是半導(dǎo)體制造中重要的“隱形工藝”。普泰克以技術(shù)創(chuàng)新為驅(qū)動,通過精準(zhǔn)、穩(wěn)定、高效的溫控系統(tǒng),助力企業(yè)優(yōu)化生產(chǎn)流程,減少資源消耗,邁向高質(zhì)量制造。
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